%99,999 Yüksek Saflıkta Püskürtme Titanyum Hedef Gr1 Deneysel Elemental Titanyum

Titanyum hedefi %99,999 yüksek saflıkta püskürtme hedefi deneysel elemental titanyum

Özelleştirilmiş Titanyum Hedef Titanyum Yuvarlak Hedef

Genellikle mallarla birlikte bunun gibi bir kalite kontrol raporu sağlayacağız,

kimyasal bileşimi ve fiziksel özelliklerini gösteren

Titanyum kare hedef, titanyum yuvarlak hedef, titanyum özel şekil hedefi

Saflık, hedef performans göstergelerinden biridir.

Hedef malzemenin saflığının filmin performansı üzerinde büyük etkisi vardır.

Hedefler için ana performans gereksinimleri:

Saflık

Hedefin saflığı, filmin performansını büyük ölçüde etkilediğinden, hedefin saflığı, hedefin ana performans göstergelerinden biridir.Ancak gerçek uygulamalarda hedef malzemenin saflık gereksinimleri aynı değildir.Örneğin, mikroelektronik endüstrisinin hızlı gelişimi ile silikon gofret boyutu 6 ", 8" den 12 "'ye genişletildi, kablo genişliği 0,5 um'den 0,25 um, 0,18 um ve 0,13 um'ye düşürüldü. hedef saflık %99,995 idi.

kirlilik içeriği

Biriken filmin ana kaynağı, hedef katıların ve gözeneklerin oksijeni ve nemidir.Çeşitli uygulamalara yönelik hedefler, farklı kirlilik seviyeleri için farklı gereksinimlere sahiptir.Örneğin, yarı iletken endüstrisinde kullanılan saf alüminyum ve alüminyum alaşımlarının hedefleri, alkali metal içeriği ve radyoaktif element içeriği için özel gereksinimlere sahiptir.

Yoğunluk

Hedef katıların gözeneklerini azaltmak ve püskürtmeli filmlerin performansını iyileştirmek için, hedeflerin tipik olarak daha yoğun olması gerekir.Hedef yoğunluk, sadece püskürtme hızını değil, aynı zamanda filmin elektriksel ve optik özelliklerini de etkiler.Hedef yoğunluğu ne kadar yüksek olursa, film performansı o kadar iyi olur.Ek olarak, hedef yoğunluk ve yoğunluk yükseltildiğinde, hedef, püskürtme sırasında termal strese dayanabilir.Yoğunluk, hedef performans göstergelerinden biridir.

Tane boyutu ve boyut dağılımı

Genellikle hedef polikristaldir ve parçacık boyutu mikrometreden milimetreye kadar olabilir.Aynı hedef durumunda, ince taneli hedefin püskürtme hızı, iri taneli hedefin püskürtme hızından daha hızlıyken, daha küçük parçacık boyutlu (düzgün dağılım) hedefin püskürtme birikimi, tek tip bir kalınlık dağılımına (tekdüze) sahiptir. .Dağıtım.